In this work, MOVPE (Metalorganic Vapor Phase
Epitaxy) growth and characterization studies of high Al content AlGaN epilayers
are reported. We utilize high resolution
X-ray diffraction (HRXRD) and atomic force microscope (AFM) techniques to
analyze the crystalline quality and
surface morphology of AlGaN epilayers. The role of the growth temperature of
AlGaN epilayers on the structural quality and the surface morphology was
investigated. Growth and measurement results show that single phase AlGaN
epilayers were grown on AlN/Al2O3 template. It is
concluded that the increasing growth temperature increases the Al content of
AlGaN epilayers which enable to control the alloy concentration of AlGaN.
Furthermore, the increasing Al content in AlGaN epilayers leads to the smooth
surface which indicates that the decreasing number of dislocation density.
Bu çalışmada, yüksek
Al içerikli AlGaN epi-tabakaların MOVPE (Metalorganik Buhar Fazı Epitaksi)
büyütmesi ve karakterizasyon çalışmaları rapor edilmiştir. AlGaN
epi-tabakaların kristal kalitesi ve yüzey morfolojisi analizi için yüksek
çözünürlüklü X-ışını kırınımı (HRXRD) ve atomik kuvvet mikroskobu teknikleri
kullanılmıştır. Büyütme sıcaklığının AlGaN epi-tabakalarının yapısal kalitesi
ve yüzey morfolojisi üzerindeki rolü incelenmiştir. Büyütme ve ölçüm sonuçları
AlN/Al2O3 şablonu üzerine tek fazda AlGaN epi-tabakaların
büyütüldüğünü göstermektedir. Artan büyütme sıcaklığının AlGaN'in Al içeriğini
arttırdığı ve bunun AlGaN alaşım konsantrasyonunu kontrol etmeye olanak
sağladığı sonucuna varılmıştır. Ayrıca, AlGaN epi-tabakalarındaki Al içeriğinin
artışı pürüzsüz yüzeye yol açar ki bu
dislokasyon yoğunluğunun azaldığını belirtir.
Primary Language | English |
---|---|
Journal Section | Natural Sciences |
Authors | |
Publication Date | September 30, 2018 |
Submission Date | August 14, 2018 |
Acceptance Date | September 4, 2018 |
Published in Issue | Year 2018Volume: 39 Issue: 3 |